高純酸制備系統(tǒng)特氟龍酸純化提取ICPMs用

• 產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

     酸純化器：又稱酸純化系統(tǒng)，高純酸提純器，酸試劑提純器，高純酸蒸餾純化器等，實(shí)驗(yàn)室工作中常常由于酸的純度較差，造成分析結(jié)果的偏差與錯(cuò)誤。市售的超純酸往往由于價(jià)格較貴，很難滿足日常分析中對(duì)酸的大量需求。因此，提純優(yōu)化酸的質(zhì)量，是為經(jīng)濟(jì)可行的途徑，我廠的酸純化器可用于實(shí)驗(yàn)室如HNO3、HCl、HF、堿溶液和有機(jī)溶劑的純化，純化后的酸和Merck的一樣好，實(shí)驗(yàn)后期可配套我單位Teflon特氟龍系列試劑瓶收取高純酸。

二、工作原理：

酸純化器是利用熱輻射原理，保持液體溫度低于沸點(diǎn)溫度蒸發(fā)，再將其酸蒸氣冷凝從而制備高純水和高純?cè)噭?，廣泛應(yīng)用于樣品處理及分析實(shí)驗(yàn)中。

• 產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、高純酸制備系統(tǒng)特氟龍酸純化提取ICPMs用，可以滿足ICP、ICP-MS低的檢測(cè)限需要及苛刻的分析應(yīng)用中提供實(shí)驗(yàn)室級(jí)超純酸，所用容器均采用Teflon耐腐蝕無吸附塑料，可處理如HNO3、HCl、HF等實(shí)驗(yàn)室的常用酸。

2、實(shí)驗(yàn)證明將金屬雜質(zhì)含量約10ppb的酸經(jīng)過一次蒸餾后，金屬雜質(zhì)含量可以降低到0.01ppb左右。若對(duì)酸要求更高，可增加提純次數(shù)。

四、相關(guān)參數(shù)：

五、使用注意事項(xiàng)：
1、所有配件（控制器、電源線、加熱片等除外）放入按實(shí)驗(yàn)要求一定濃度的酸液中浸泡，去除雜質(zhì)。

2、加酸前必須做好個(gè)人防護(hù)如：防濺眼鏡、防酸手套等（蒸水除外）。

【電子級(jí)酸】：

適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中所用產(chǎn)品的清洗和蝕刻以及痕量金屬元素殘留分析，根據(jù)質(zhì)控的金屬元素含量的數(shù)量和含量，劃分為4個(gè)級(jí)別：MOS級(jí)，VLSI級(jí)，ULSI級(jí)，SLSI級(jí)

MOS級(jí)（EL級(jí)）：控制十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在100PPb左右

VLSI級(jí)：控制三十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在10~100PPb

ULSI級(jí)：控制三十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在10PPb以下

SLSI級(jí)：控制三十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在1PPB以下

所謂的電子級(jí)酸，其實(shí)就是ppb或者ppt級(jí)的高純酸。

實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)（僅供參考）：儀器：CH-I 酸純化器；試劑：優(yōu)級(jí)純的HF
蒸餾后，經(jīng)中國(guó)地質(zhì)大學(xué)地質(zhì)過程與礦產(chǎn)資源國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室ICP-MS檢測(cè)出HF中雜質(zhì)的含量：

    全自動(dòng)器皿清洗裝置采用亞沸騰原理用蒸汽循環(huán)反復(fù)對(duì)流以及冷凝淋洗，潔凈的樣品反應(yīng)管是獲得正確分析結(jié)果的前提,傳統(tǒng)的清洗方法是把實(shí)驗(yàn)室容器置于酸缸或熱酸中浸泡數(shù)小時(shí)甚至更長(zhǎng)時(shí)間，這種方法不僅效率低、易造成大量的酸消耗，而且為了避免帶來交叉污染，需要定期更換酸，否則將給實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)帶來巨大的風(fēng)險(xiǎn)。而我廠研發(fā)的全自動(dòng)器皿清洗裝置確保了痕量分析和超痕量分析的準(zhǔn)確性。

1、名稱：全自動(dòng)器皿清洗裝置，型號(hào)：SQ-210型  SQ-330型

2、清洗對(duì)象：適配我廠PFA溶樣罐（7、15、30、60ml）、鋼套消解罐內(nèi)襯（10ml等）、各廠家微波消解儀內(nèi)罐（如美國(guó)CEM、邁爾斯通、、屹堯、新儀、海能、新拓、萊伯泰科等廠家）、各類消解管、離心管、試管、燒杯、坩堝、試劑瓶等實(shí)驗(yàn)室常用器皿以及石英罐。甚至用于ICP的霧化室和火炬管等的痕量清洗。
3、主要材質(zhì)

（1）腔體為高純所有與器皿接觸的部分均為高純實(shí)驗(yàn)級(jí)PTFE材質(zhì)；

（2）加熱系統(tǒng)可按照客戶要求做成節(jié)能環(huán)保型的硅膠加熱片，功率為350W。

• 工作原理

利用亞沸的HF 、HCL 、HNO3、H?SO?、高純水、堿類等等實(shí)驗(yàn)室常用酸、堿等常用溶劑的熱蒸汽來清洗反應(yīng)管、試管、消解管、燒杯、坩堝、容量瓶等實(shí)驗(yàn)室常用器皿。整個(gè)清洗過程是通過加熱片加熱產(chǎn)生的高純酸堿蒸氣對(duì)器皿的反復(fù)對(duì)流和冷凝淋洗作用下完成的，環(huán)保無污染；清洗器采用空氣冷卻而無需額外冷卻水，可以實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)安全的過夜工作，與常規(guī)的清洗或酸泡方法相比，蒸汽清洗法的清洗效果更好、更加潔凈無污染。

數(shù)據(jù)說明

PPb級(jí)的清洗結(jié)果利用酸蒸清洗系統(tǒng)清洗后，結(jié)果證明，含PPM級(jí)金屬污染的容器可以降低為PPb級(jí)。

三、儀器優(yōu)勢(shì)

 1、無需浸泡快速清洗各種用于痕量分析使用的容器及配件；

 2、只有高純酸蒸汽接觸要清洗的容器表面，清洗更*；

3、洗凈的容器可以在密閉的腔體內(nèi)冷卻干燥，不會(huì)造成任何污染；

4、配有高校冷卻效果，酸可以循環(huán)使用，減少溶劑的損耗，節(jié)省成本；

5、酸蒸發(fā)過程相當(dāng)于酸的純化過程，清洗殘留更小，更潔凈；

6、自動(dòng)溫度控制系統(tǒng)，精確控溫；

7、密閉條件下進(jìn)行酸蒸氣超凈清洗，防止實(shí)驗(yàn)室污染；

8、專業(yè)設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，操作人員無需培訓(xùn)；

9、適用痕量分析器皿清洗，PFA及PTFE溶樣罐、微波消解罐內(nèi)罐、燒杯、消解管、試管等；

10、一次性處理量多達(dá)26、52、104個(gè)樣品（根據(jù)器皿大小而定），也可以根據(jù)器皿高矮設(shè)計(jì)成多層，更加高效，快捷；

四、特別說明：

1、清洗器皿外徑在30mm 及以外， 桶總高度：260mm, 桶外徑210mm, 一層26孔（可做3層，即一次性可清洗78個(gè)樣品）；

2、清洗器皿外徑在30mm 及以內(nèi)， 桶總高度：280mm,  桶外徑330mm, 一層50孔（可做3層，即一次性可清洗150個(gè)樣品）；

3、以上所說的樣品數(shù)量是以我廠10ml消解罐內(nèi)襯或PFA 15ml溶樣罐為參考，若是其他細(xì)長(zhǎng)器皿，可根據(jù)實(shí)際長(zhǎng)度設(shè)計(jì)層數(shù)和批次處理量；也可以按照客戶需求進(jìn)行定向加工。

南京濱正紅儀器有限公司

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